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洁净室中空气微粒如何处理?


随着科学技术的发展,在洁净室中除了要求控制微粒、微生物的浓度外,化学污染物或重金属物质对产品质量和人员健康的影响也日益受到关注。洁净室中空气微粒如何处理?上海洁净室设计新型空气过滤器怎么选择?且看奥宣净化为大家说道说道。


尤其是超大规模集成电路生产技术的飞跃发展,空气中能够危害产品生产质量,引起产品成品率降低的化学污染物质被称为“分子级污染物”("AMC',是Airborne Molecular Contamination的缩写),国际半导体设备与材料协会(SEMI)在F21-95标准中将“分子级污染物”分为四类,即酸性(MA)、碱性(MB)、可凝性(MC)、掺杂性(MD),对每一类分为5个浓度等级,气相物质有氟化氢(HF)、二氧化硫(Sq)、氯化氢(HC1),氮氧化物(NOT)等;碱性AMC主要有氨气(NH3 )、甲胺(CH3 N践)等;可凝性AMC是指在常温常压下能在干净表面凝结的气相物质,如有机气体、碳氢化合物等;掺杂性AMC是指能够改变半导体材料性能的化学物质,如硼(B),磷(P)、钾(K)、钠(Na)、钙(Ca)和各种金属离子等。

为了控制洁净室内空气中各类化学污染物浓度,应采用多种污染物控制技术措施,包括洁净室建造材料污染物控制、人员污染物控制、原辅材料污染物控制、生产工艺方法污染控制、室外和室内空气污染物控制等。对洁净室净化空调系统,应根据要求装设化学过滤器或在洁净室内设局部超净设备或微环境隔离易受AMC污染危害的生产工艺或生产设备。目前国内外都在研究开发各种类型的化学过滤器,国外已有化学过滤器系列产品出售。康裴尔公司生产多种类型的化学过滤器,如Gigasorb' ENC型洁净室用多V型化学过滤器,采用0.5tim微球活性炭,不破裂、不发尘,负载在聚氨醋三维多孔载体上,滤材标准厚度为(20士2) mm;有三种滤料,即T20-A碱性气体用,T20-C酸性气体用,T20-L有机气体用;一层滤料在面风速为2.5m/s时的阻力为50Pa。

外框材料为不锈钢。适用于净化空调系统新风、循环风处理。Gigasorb0S ENP型板式化学过滤器,滤料与“ENC"型相同,标准产品装有三层不同滤料,在面风速为0.3m/s时,阻力为20Pa;外框材料为铝合金,Gigalam3高效/化学复合过滤器,它是由HEPA/ULPA过滤器和Gi-gasorb化学过滤器组合制造,可同时去除空气中的超细微粒和分子污染物;滤材可采用制作HEPA/ULPA的三种滤料和三种Gigasorb滤料,即通用性玻璃纤维、低硼石英玻璃纤维、e-PTFE膨体聚四氟乙烯和T20-A, T20-C, T20-L,在面风速为0.3m/s时,阻力约为130Pa;这种过滤器适合于高级别洁净室中的微环境和在生产工艺设备中配用。

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